原標(biāo)題：山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目通線量產(chǎn)

來源：大眾日?qǐng)?bào)

原標(biāo)題：山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目通線量產(chǎn)

來源：大眾日?qǐng)?bào)

□記者 賀瑩瑩

通訊員 劉瀟 韓哲 報(bào)道

本報(bào)德州訊 10月16日，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目通線量產(chǎn)，這是全省首條集成電路刻蝕設(shè)備用硅材料生產(chǎn)線。

據(jù)悉，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目總投資3.57億元，主要生產(chǎn)大尺寸單晶硅部件加工品，全部達(dá)產(chǎn)后年新增硅材料204噸。“刻蝕設(shè)備用硅材料部件是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所需的核心耗材，主要用于生產(chǎn)8至12英寸的等離子刻蝕機(jī)。”山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞介紹，此前中國有研科技集團(tuán)有限公司（以下簡(jiǎn)稱有研集團(tuán)）一直生產(chǎn)刻蝕設(shè)備用硅部件半成品，在德州建立生產(chǎn)基地后，開始布局全產(chǎn)業(yè)鏈成品制作。

作為“有研系”在德州布局的重點(diǎn)延鏈補(bǔ)鏈項(xiàng)目之一，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目對(duì)于完善我省集成電路產(chǎn)業(yè)格局、填補(bǔ)省內(nèi)該領(lǐng)域空白意義重大，并將有力改變國內(nèi)刻蝕設(shè)備用硅材料依賴進(jìn)口的局面。“硅片生產(chǎn)處于集成電路產(chǎn)業(yè)的上游環(huán)節(jié)，附加值最大的在芯片制造中端環(huán)節(jié)。刻蝕用單晶硅材料屬于半導(dǎo)體單晶硅材料生產(chǎn)領(lǐng)域的另一主線，我們就這一主線作延展。現(xiàn)在，我們不僅能制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產(chǎn)相關(guān)成品部件，全產(chǎn)業(yè)鏈布局可以直面終端刻蝕機(jī)廠商，提升了市場(chǎng)附加值，在細(xì)分領(lǐng)域賽道中增加了競(jìng)爭(zhēng)力。”閆志瑞說。

眼下，有研集團(tuán)已在德州投資近百億元，共布局7個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，集聚打造了占地1000畝的集成電路關(guān)鍵材料基地。

□記者 賀瑩瑩

通訊員 劉瀟 韓哲 報(bào)道

本報(bào)德州訊 10月16日，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目通線量產(chǎn)，這是全省首條集成電路刻蝕設(shè)備用硅材料生產(chǎn)線。

據(jù)悉，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目總投資3.57億元，主要生產(chǎn)大尺寸單晶硅部件加工品，全部達(dá)產(chǎn)后年新增硅材料204噸。“刻蝕設(shè)備用硅材料部件是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所需的核心耗材，主要用于生產(chǎn)8至12英寸的等離子刻蝕機(jī)。”山東有研艾斯半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理閆志瑞介紹，此前中國有研科技集團(tuán)有限公司（以下簡(jiǎn)稱有研集團(tuán)）一直生產(chǎn)刻蝕設(shè)備用硅部件半成品，在德州建立生產(chǎn)基地后，開始布局全產(chǎn)業(yè)鏈成品制作。

作為“有研系”在德州布局的重點(diǎn)延鏈補(bǔ)鏈項(xiàng)目之一，山東有研刻蝕設(shè)備用硅材料項(xiàng)目對(duì)于完善我省集成電路產(chǎn)業(yè)格局、填補(bǔ)省內(nèi)該領(lǐng)域空白意義重大，并將有力改變國內(nèi)刻蝕設(shè)備用硅材料依賴進(jìn)口的局面。“硅片生產(chǎn)處于集成電路產(chǎn)業(yè)的上游環(huán)節(jié)，附加值最大的在芯片制造中端環(huán)節(jié)。刻蝕用單晶硅材料屬于半導(dǎo)體單晶硅材料生產(chǎn)領(lǐng)域的另一主線，我們就這一主線作延展。現(xiàn)在，我們不僅能制造加工刻蝕用單晶硅材料，還能生產(chǎn)相關(guān)成品部件，全產(chǎn)業(yè)鏈布局可以直面終端刻蝕機(jī)廠商，提升了市場(chǎng)附加值，在細(xì)分領(lǐng)域賽道中增加了競(jìng)爭(zhēng)力。”閆志瑞說。

眼下，有研集團(tuán)已在德州投資近百億元，共布局7個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，集聚打造了占地1000畝的集成電路關(guān)鍵材料基地。

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