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黃河好聲音 | 探秘芯片制造原材料“硅片”如何而來?

來源:齊魯網

作者:

2021-10-05 19:25:10

  

齊魯網·閃電新聞10月5日訊 “蹲點沿黃一線,聆聽黃河好聲音”。9月18日起,閃電新聞推出系列蹲點報道《黃河好聲音》,派出九路記者深入山東沿黃九市,以聲音之變為切入點,帶領大家聽山東各地如何奏響黃河流域生態保護和高質量發展的新樂章。第九期,走進德州的半導體材料制造工廠,聆聽這里的“成長”之聲。

作為地殼中除氧之外含量最多的元素,硅與我們的生活息息相關,也成為很多產業創新的一個重要引擎。硅片因其技術成熟、成本穩定、應用廣泛等特點,是目前用于制造半導體器件的主流材料。“目前來講,95%以上的芯片都是制作在硅材料上面。”據 SEMI 統計,2020 年全球晶圓制造材料市場總額達349億美元。其中,硅片和硅基材料的銷售額占比達到36.64%,銷售額約為128億元。

用于半導體器件加工的硅片對純度有著極高要求,通常要達到99.999999999%。此外,半導體硅片還對硅片的平整度、光滑度有較高要求。所以,99.999999999%含量的多晶硅必須經過進一步的工序熔化、重新“生長”成一根單晶硅棒。

在山東有研半導體材料有限公司直拉單晶爐前,透過觀察孔的防護玻璃罩可以看到,一根新拉制的硅單晶棒正在生長。1600度高溫的爐內,多晶硅塊要經過將近70個小時的生長周期,才能成為一根單晶硅棒。拉制成的單晶硅棒經過檢測合格后才能進入硅片加工車間,再經過切片、倒角、研磨、貼片、拋光、清洗、測試、封裝等多道精密工序制成硅拋光片,最終成為集成電路制造過程中重要的基礎材料。

我國硅片產業起步較晚,技術積累相對落后。半導體硅片的國產替代空間巨大,近年來,隨著國內加快半導體硅片的研發投入和建設,包括山東有研半導體材料有限公司在內的國內多家廠商,已經實現了12英寸主流半導體硅片的技術突破。可以預見,中國半導體產業未來的發展,將會涌現出更多的“中國力量”。

閃電新聞記者 胡振華 鄭秀程 周樹茂 通訊員 趙慶川 韓哲  報道

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