齊魯網(wǎng)·閃電新聞9月2日訊 山東首根半導(dǎo)體級(jí)八英寸直拉硅單晶日前在德州拉制成功，將推動(dòng)山東半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)新突破。

歷時(shí)70多個(gè)小時(shí)，半導(dǎo)體級(jí)八英寸直拉硅單晶成功下線，這標(biāo)志著有研集成電路用大尺寸硅材料項(xiàng)目即將進(jìn)入量產(chǎn)階段。

山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目總工程師肖清華說(shuō)：“我們這次是一次性成功，整個(gè)過(guò)程印證了我們廠房建設(shè)達(dá)到了一個(gè)非常好的水準(zhǔn)。”

硅是重要的半導(dǎo)體材料。拉制成功的單晶硅棒再經(jīng)過(guò)切片、倒角、拋光等工序，被制成硅拋光片，可用于衛(wèi)星、電腦、手機(jī)等領(lǐng)域，是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中重要的基礎(chǔ)材料。

山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)模化生產(chǎn)項(xiàng)目副總經(jīng)理劉斌說(shuō)：“在此之前咱們國(guó)家所有的8英寸硅拋光片，基本上是從美國(guó)、日本、韓國(guó)、德國(guó)這些國(guó)家進(jìn)口，從順利實(shí)施，將進(jìn)一步擴(kuò)大咱們國(guó)家的自主的8英寸硅拋光片的供應(yīng)。”

硅單晶的拉制是一個(gè)極其復(fù)雜的過(guò)程，缺陷尺度要控制在納米級(jí)，除了工藝技術(shù)要精密，項(xiàng)目還對(duì)能源供應(yīng)的穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛。為此，當(dāng)?shù)貙?zhuān)門(mén)為企業(yè)建設(shè)了35千伏專(zhuān)用變電站，實(shí)行雙回路供電。

德州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科技局局長(zhǎng)趙興介紹說(shuō)：“組織供水供電等部門(mén)成立專(zhuān)門(mén)的工作協(xié)調(diào)小組，建立了每天的早餐例會(huì)制度，每天利用早餐時(shí)間溝通情況，了解問(wèn)題，做到問(wèn)題早發(fā)現(xiàn)、早溝通、早協(xié)調(diào)、早解決，確保調(diào)試生產(chǎn)的順利進(jìn)行。”

據(jù)了解，山東有研集成電路用大尺寸硅材料項(xiàng)目一期總投資18億元，主要生產(chǎn)6-8英寸硅片，年產(chǎn)量450萬(wàn)片。二期年產(chǎn)360萬(wàn)片12英寸硅片項(xiàng)目計(jì)劃明年開(kāi)工建設(shè)，建成后將成為我國(guó)北方最大的半導(dǎo)體材料基地。